1.1 ISO 14633-3建议对洁净设施进行的测试项目

建议的测试项目

ISO标准中出处

洁净室和洁净室装置的悬浮粒子等级计数与测量

14644-1 14644-2

悬浮微粒子计数

14644-1

悬浮宏粒子计数

14644-1

气流测试

14644-1 14644-2

压差测试

14644-1 14644-2

过滤器系统安装后检漏

14644-2

气流目检

14644-2

风向测试

 

温度测试

 

湿度测试

 

静电与离子发生器测试

 

粒子沉积测试

 

自净测试

14664-2

隔离检漏

14644-1 14644-2

注:这里列出的建议测试不是按重要性排列的。可根据具体文件的要求或客户与供应商的一致意见确定测试排序。

1.3.2 NEBB所规定的检测项目

美国国家环境平衡局NEBBNational Environmental Balancing Bureau)关于洁净室性能测试(CPT―Cleanroom Performance Testing)所规定的测试项目如下:

1 气流速度和均匀性测试(Airflow Velocity and Uniformity Tests

2 高效空气过滤器装置的检漏测试(HEPA Filter Installation Leak Tests

3 房间尘粒数测试(Room Particle Count Tests

4 隔断压差(Enclosure Pressurization Tests

5 温、湿度均匀性测试 (Temperature and Humidity Uniformity Tests)

6 噪音及振动测试 (Sound and Vibration Tests)

7 照度及均匀性测试 (Light Level and Uniformity Tests)

8 自净测试 (Recovery Tests)

9 电导率测试 (Conductivity Tests)

10. 粒子沉积测试 (Particle Fallout Count Tests)

11. 静电测试 (Electrostatic Tests)

美国国家环境平衡局实际上是一个创办于1971年的民营机构,它得到美国暖通制冷空调工程师协会(ASHRAE― American Society of Heating Refrigerating and Air Conditioning Engineers)美国环境科学与技术学会(IEST― Institute of Environmental Science and Technology )北美照明工程协会(IESNA Illuminating Engineering Society of North America)半导体设备与材料学会(SEMI―Semiconductor Equipment and Materials Institute)等众多美国协会、学会的支持。至2005年底,它在世界上已拥有32个分社和6 百多个持证的检测团队。分布在美国各州、加拿大、欧洲和德国、英国、丹麦、法国、澳大利亚、以色列、约旦及亚洲的韩国、新加坡、香港、马来西亚、泰国等地。

30多年来,NEBB以其高质量、高标准的检测和认证模式赢得了建设单位、承包商、工程技术人员的信赖,使其业务范围和规模才有可能从美国本土,扩展到海外,成为了暖通空调、洁净室等相关专业一个著名的认证品牌。如同在药品、保健品等行业的美国食品药品管理局(FDA)的认证在全球各地畅通无阻那样,被世界大多数国家认可。某个洁净室如果获得了NEBB的认证从某种意义上说,在该洁净室生产的产品就得到了进入美国或其他认同NEBB认证的国家市场的基本条件。这也正是为什么不少企业为进入,越来越受到建设方重视的认证行业,因此重金委派技术人员前往美国凤凰城NEBB培训基地,接受培训和考试,以期得到NEBB的认证资质。

20059月国际污染控制学会联盟(ICCCS―International Confederation of Contamination Control)莫斯科会议上英国等加盟国提出了开展洁净室行业国际认证培训的建议,大会通过了将ICCCS工作中心转入培训教育工作的提案。接着20064月在荷兰阿姆斯特丹召开了ICCCS教育工作会议,会议决议建立国际培训体系,培训教材各国自编自选。20069月举办第十八届ICCCS北京 国际污染控制学会论坛的同时,ICCCS各加盟国代表讨论通过了国际认证培训的计划,成立了洁净室国际认证委员会(ICCB―International Cleanroom Certification Board),并于20073月在法国巴黎召开的ICCCS成员组织工作会议和ICCB工作会议上作出决议,认可苏格兰、中国拟定的洁净室工程师培训体系。并根据德国代表提议,着手起草ISO 14644-10“洁净室技术培训标准。中国电子学会洁净技术分会(CCCS―Chinese Contamination Control Society)正与ICCCS密切协作逐步开展这方面的工作。洁净室的国际化认证,虽然还有一段路程要走,但ICCB的成立将加速此进程,这是世界经济一体化发展的必然趋势。

 

2011年06月22日

国际标准化组织建议对洁净室进行的测试项目

表1.1 ISO 14633-3建议对洁净设施进行的测试项目 建议的测试项目 ISO标准中出处 洁净室和洁净室装置的悬浮粒子等级计数与测量 14644

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